微纳材料修饰的硅基微穿孔板共振降噪复合器件(英文)

作者：吴少华; 赵湛; 赵俊娟; 孔德义; 郭丽君; 肖丽

来源：纳米技术与精密工程, 2013, (03): 242-246.

DOI：10.13494/j.npe.2013.042

• ZnO微纳米结构
• 微穿孔板共振器
• MEMS
• 降噪复合器件 micro-nano ZnO structure
• micro-perforated panel resonator
• hybrid device for noise reduction

探索了一种通过MEMS技术制备硅基微穿孔板共振降噪结构,并进一步将ZnO微米纳米材料加入其中以提高吸声性能的新方法.采用MEMS技术在硅片上得到了孔径为100μm、一致性良好的微孔阵列,将其与刚性底座组合在一起,构成硅基微穿孔板降噪器件.将通过水热合成法得到的ZnO微米纳米材料制备在后底板硅片上,并与硅基微穿孔板组装在一起,构成微米纳米复合降噪器件.对上述两种器件进行降噪实验,结果显示采用MEMS精密加工技术能够获得吸声系数较高的共振降噪器件,而经过ZnO微米纳米材料修饰后的复合器件,其在1 500～6 000Hz频段内的平均吸声系数提高了2.54%,达到85.87%.这一现象在1 500～3...

• 单位
  中国科学院电子学研究所; 中国科学院研究生院; 传感技术国家重点实验室; 中国科学院，合肥智能机械研究所; 中国科学院合肥智能机械研究所