摘要

太阳能电池片(硅片)制绒与刻蚀工艺前后,称重计算得出的硅片减膜量可以反映工艺设备中的液体成分是否达标。作为主要传输设备的全自动硅片上下料机配置了称重系统。为了解决人工称重带来的误差大、效率低与稳定性差等问题,通过FINS/UDP命令建立了PLC与上位机之间的数据交换,开发了称重数据库。通过大量生产测试后验证了称重系统的稳定性和可行性,有效地增强了全自动硅片上下料设备的自动化程度。

  • 单位
    中国电子科技集团公司第二研究所

全文