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摘要
采用电容式深孔内径测量仪测量机械加工过程中小深孔的孔径。该测量仪采用直径较小的电容探针作为传感器,电容探针通过采用驱动电缆技术消除了杂散电容的影响,将孔径的变化转换为电压的线性变化,并通过USB接口将此电压信号输入到计算机系统中进行处理。论述了小深孔内径电容式测量方法的基本原理,设计了电容式深孔内径测量仪测量小深孔孔径系统的总体方案。该方法特别适用于φ1mm~φ7mm深孔的内径自动检测,对φ3mm孔径进行了实际测量,并分析了测量所得到的数据,多次测量的标准差小于0.5μm,测量分辨率为0.05μm。
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