三层SiNx-SiNx-SiO2减反射膜对多晶硅太阳电池性能的影响

作者：马新尖

来源：人工晶体学报, 2020, 49(03): 521-525.

DOI：10.16553/j.cnki.issn1000-985x.2020.03.018

• PC1D
• SiNx-SiNx-SiO2
• 减反射膜
• 多晶硅太阳电池

本文分析了双层SiNx-SiNx减反射膜和带有氧化层的三层SiNx-SiNx-SiO2减反射膜对多晶硅太阳电池性能的影响。模拟结果表明,增加了氧化层的三层SiNx-SiNx-SiO2减反射膜多晶硅太阳电池电学输出特性优于双层SiNx-SiNx减反射膜多晶硅太阳电池。实验分析表明,三层SiNx-SiNx-SiO2减反射膜反射率略高于双层SiNx-SiNx减反射膜反射率,增加了氧化层的三层SiNx-SiNx-SiO2减反射膜多晶硅太阳电池具有更好的钝化效果,使得其光电转化效率有所增加。

• 单位
  拉萨师范高等专科学校