电流密度对电沉积制备钽基RuO_2·nH_2O薄膜形貌的影响

作者：欧定斌; 甘卫平; 何捍卫; 张伟; 黎晓辉

来源：材料导报, 2006, 20(03): 144-145+151.

DOI：10.3321/j.issn:1005-023X.2006.03.039

• 电沉积
• RuO2·nH2O薄膜
• 附着力
• 形貌

采用直流电沉积的方法研究了阴极电流密度的变化(1mA/cm2、3mA/cm2、5mA/cm2、10mA/cm2)对RuO2·nH2O薄膜附着力和形貌的影响,并探讨了RuO2·nH2O电沉积的机理。采用SEM、能谱仪、XRD对薄膜的形貌、元素、物相分别进行了分析,并用粒度分析仪(DELSA440SXAnalyzerControl)对电沉积液的Zeta电位进行了测试。通过实验可以得出:RuO2·nH2O薄膜厚度随着阴极电流密度的增加而增加,薄膜自然干燥失水后,开裂脱落的倾向随电流密度的增加而增大;当阴极电流密度达到10mA/cm2时,自然干燥后薄膜疏松,附着力差。

• 单位
  中南大学