本发明公开了一种锂离子电池正极粉体材料表面包覆氧化物薄膜的方法。本发明所述的方法为:先用汽化的前驱体在正极粉体材料进行预包覆,然后放入含氧等离子体中,在氧活性粒子的氧化形成金属氧化物薄膜;或者将汽化的前驱体直接通入含氧等离子体中,在氧及等离子体作用下氧化分解并沉积在正极材料表面形成氧化物薄膜,完成包覆。通过该方法制备的氧化物薄膜包覆完整均匀,与正极材料结合紧密,能有效提高材料的电化学性能。