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摘要
本发明属于集成光路类型技术领域,公开了一种中红外氟氧玻璃陶瓷Y型波导分束器及其制备方法,利用飞秒激光直写氟氧玻璃陶瓷贯穿的单线波导,通过分析并计算不同激光功率下直写的波导传输损耗,确定Y型分束器激光加工参数,测试了单线波导和Y型分束器的导光特性,实现了基质为氟氧玻璃陶瓷Y型波导分束器的制备,摒弃了依靠经验的制作过程,实现了系统化、标准化的波导分束器直写。首次提出了利用超快激光制造氟氧玻璃陶瓷波导结构,证实了在中红外集成器件方面的应用,对中红外可调谐波导激光器和光通信器件具有很好的参考价值。本发明结构简单,稳定性高,传输损耗低,可以用于中红外可调谐波导激光器、光信号放大器、中红外光通信器件等。
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