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摘要
电解双喷减薄/抛光技术是制备金属类TEM薄膜最常用的方法。获得表面光亮清洁，中心穿孔，绕穿孔边缘有较大薄区的优质TEM薄片则需要合适的电解双喷参数。本文利用电解双喷仪制备多组元合金的TEM薄片，包括FeCrNi系奥氏体不锈钢，模具钢，AlFeCrNi(Co/W/V/Cu)系的高熵合金，并通过光学和透射电镜观察穿孔情况和材料内部析出相、成分分布、相界面原子分布、位错等信息，探讨电解双喷过程中电解液的成分、温度，电解双喷的参数(电压/电流、流速)和样品厚度等对双喷效果的影响。总结了各种材料最佳的电解双喷参数，对于具有复杂析出相的钢，需采用不同的电解液来实现TEM薄片的制备。而新型高熵合金则需要调试温度、电压/电流等参数，来获得清晰的两相共格界面，并避免腐蚀产物的干扰。
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