高功率激光器光学元件镀膜前后评价参数探讨

作者：胡达飞; 邵淑英; 方明; 齐红基; 易葵

来源：中国激光, 2010, (02): 572-576.

• 表面光学
• 表面形貌
• 峰谷值
• 均方根
• 均方根梯度
• 功率谱密度 optics at surfaces
• surface profile
• peak to valley
• root mean square
• gradient of root mean square
• power spectral density

利用ZYGO MarkⅢ-GPI干涉仪对120 mm×88 mm元件镀膜前后进行了面形测量,获得了峰谷值(PV)和均方根梯度(GRMS),并对镀膜前后的PV,GRMS值进行了比较,发现镀膜后PV,GRMS值分别有所增加,同时对两者进行了线性拟合,结果表明两者在一定程度上存在着线性关系,并从理论上进行了模拟论证。同时对个别样品进行了功率谱密度(PSD)分析,发现镀膜后PSD曲线较镀膜前有所升高,这与基片的抛光程度以及镀膜过程有着密切联系。

• 单位
  中国科学院; 中国科学院大学; 中国科学院上海光学精密机械研究所