激光干涉仪检测球面光学零件面形精度分析

作者：权艳红

来源：中国高新技术企业, 2010, (24): 191-193.

DOI：10.13535/j.cnki.11-4406/n.2010.24.015

• 激光球面干涉仪
• 等厚干涉
• 光学零件面形
• 干涉仪器
• 精度分析

文章通过使用激光球面干涉仪对不同光学零件面形的测量从而作出其精度测量的分析,探讨了实验中产生问题的原因,并对实验数据加以讨论,以找出误差产生的规律。