激光微加工过程中,加工区域附近会存在热影响区、重铸层、热变形和裂纹等缺陷,这将直接影响加工质量和加工精度。因此,在激光微孔加工过程中,如何减小微孔锥度、微孔表面重铸层、微裂纹以及如何实现高深径比微孔的加工一直是提高微孔加工质量的主要研究方向。本文主要对现有激光微孔加工微孔质量的控制方式进行总结与研究。