磁控溅射法制备负温度系数热敏电阻薄膜材料研究获进展

来源：人工晶体学报, 2017, 46(10): 1991.

DOI：10.16553/j.cnki.issn1000-985x.2017.10.041

• 磁控溅射法
• NTC
• 热敏电阻
• 温度系数
• 材料研究

<正>负温度系数(NTC)热敏电阻是常见的温度测控元件,具备测温精度高、灵敏度高、可靠性好、成本低、工作寿命长等特点,在航空、海洋和民用等领域广泛应用。随着电子工业和信息技术水平的不断进步,现代电子信息系统正朝向微小型化和单片集成的方向发展。相比于块体陶瓷型热敏电阻,薄膜型NTC热敏电阻更

• 单位
  中国科学院