微加速度计机械与电学一体化仿真模型

作者：戴强; 卢盛辉; 杨洪东; 于奇

来源：仪表技术与传感器, 2010, (02): 4-6+9.

• 微加速度计
• 机械
• 电学
• 一体化仿真模型 micro-accelerometers
• mechanical part
• electrical device
• integrated simulation model

针对目前MEMS微加速度计机械和电路仿真各自脱节的现状,基于PSPICE软件,综合了敏感质量块机械、偏置电压静电力和接口电路3部分,提出了机械与电学一体化仿真模型。模型实现了敏感质量块大位移情形仿真,突破了已有仿真模型对该质量块的中点小位移近似。利用该模型,得到大位移情况下加速度计能承受的最大阶跃和脉冲加速度信号值,经过与经典理论公式比较,误差小于3%。进一步,通过在不同偏置电压开环模式下灵敏度仿真与实验值的比较,当敏感质量块处于小位移状态时,误差小于5%;处于大位移状态,小于10%。因此,仿真模型与经典理论公式以及实验值比较接近,可应用于微加速度计的仿真和物理过程再现,从而有助于该类微机械电...

• 单位
  电子科技大学; 电子薄膜与集成器件国家重点实验室