纳米CeO_2悬浮液的流变性能研究

作者：郑国琴; 沈志刚; 曾晓飞; 陈建峰

来源：硅酸盐通报, 2012, (03): 545-548+558.

DOI：10.16552/j.cnki.issn1001-1625.2012.03.021

• 纳米CeO2
• 流变性
• 抛光浆料 nanosized CeO2
• rheoloy
• CMP suspension

在化学机械抛光过程中,抛光液的流变性能起到至关重要的作用。本文利用Haake流变仪研究了水基纳米CeO2悬浮液在不同pH值、CeO2颗粒浓度、温度、中性电解质浓度下的流变性能。研究结果表明,随着zeta电位减小,悬浮液表观粘度增大,体系逐渐转变为剪切变稀的非牛顿流体。悬浮液中CeO2颗粒浓度低于17.4wt%时,颗粒浓度对体系的流变性能影响较弱,体系为牛顿流体,但是继续增大颗粒浓度,悬浮体表观粘度明显增大,出现剪稀现象。温度对悬浮液流变性能影响较为复杂,当温度小于35℃时,随着温度的升高体系表观粘度变小,温度大于35℃时,温度的升高反而使体系表观粘度增高。中性电解质的加入使得悬浮体的zeta电...

• 单位
  有机无机复合材料国家重点实验室; 北京化工大学