摘要
讨论多晶硅还原生产过程中比较常见的一些问题,并针对这些问题总结针对性控制对策。首先介绍多晶硅还原生产工艺,了解还原生产原理以及基本流程。其次,针对多晶硅还原生产过程,提出九点比较常见的问题,并分别从硅芯和沉积硅之间黏合度、硅油的产生、大量无定形硅、倒棒现象、硅棒内氧化夹层、裂纹、高温条件下还原炉水管的震动、电压击穿导致的横梁和硅芯亮点、爆米花现象九个维度,总结控制对策,切实提高多晶硅还原生产效率与质量,旨在为今后光伏产业多晶硅还原生产工艺的改善与创新积累经验。
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单位荆州理工职业学院