纳滤-膜蒸馏集成工艺用于超纯水生产的中试研究

作者：高永钢; 解保雷; 苏成龙; 史志伟; FU Fengjiang

来源：工业水处理, 2023, 43(06): 164-170.

DOI：10.19965/j.cnki.iwt.2022-0713

• 超纯水生产
• 半导体制造
• 中空纤维纳滤
• 平板真空多效膜蒸馏
• 短流程工艺

电子级超纯水在半导体制造中用量很大，目前超纯水生产以“预处理+反渗透（RO）+电除盐（EDI）”为主单元的长流程工艺为主。在此基础上，提出了一种以中空纤维纳滤（HFNF）和平板真空多效膜蒸馏（VMD）替代EDI之前所有工艺段的短流程生产工艺，把超纯水生产工艺从原长流程的12个以上工艺段减少至6个以下。研究结果表明，以HFNF+VMD作预处理的产水电导率低于4μS/cm，完全满足EDI的进水要求；在出水水质不变的情况下，短流程生产工艺减少了工艺段，超纯水产水量提高了44.6%，进而可以降低设备投资，而且使维护变得简单且经济；更重要的是短流程生产工艺故障风险位点减少，超纯水工艺和水质更加稳定。