目前的研究工作都集中在如何提高法布里-珀罗（Fabry-Perot,F-P）传感器的灵敏度和线性响应度，而传感器的方向响应性在局部放电定位中的研究较少。对基于微机电系统（MEMS）的F-P声传感器的方向灵敏度进行了实验研究，制作了膜片厚度为5μm的F-P声传感器，并测量和分析了来自不同入射角和线性距离的放电源的声信号。实验结果表明：该传感器在±60°入射范围内具有5.90 d B的振幅波动，信噪比高，使其具备3 m以外检测微弱局部放电信号的能力。
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