双金属电弧离子蒸发源的研制

作者：胡志杰; 李争显

来源：科技创新导报, 2012, (13): 14-15.

DOI：10.16660/j.cnki.1674-098x.2012.13.023

• 电弧离子镀
• 离子蒸发源
• 研制

阐述了双金属电弧离子蒸发源的设计原则及结构。利用双金属电弧离子蒸发源成功制备了TiAlN膜层,并对优化的制备参数做了简要介绍。

• 单位
  宝钛集团有限公司; 西北有色金属研究院