粒子加速器丝线位置测量电容传感器标定方法

作者：闫路平; 董岚^*; 王铜; 卢尚; 韩圆颖; 刘晓阳; 张露彦; 闫皓月; 马娜; 何振强; 柯志勇; 门玲鸰; 李波; 王小龙; 梁静; 罗涛

来源：强激光与粒子束, 2023, 34(11): 90-97.

• 振动线
• 电容式位移传感器
• 标定
• 多项式拟合
• 精度分析

在高能同步辐射光源中，为了提高磁铁的准直精度，采用磁中心代替机械中心进行磁铁标定，通过振动线或旋转线等技术获得磁铁的磁中心位置，以及通过电容式位移传感器测量得到丝线的位置，从而实现磁中心与准直靶标的关联。为了实现丝线位置的高精度测量，必须对电容传感器进行精确标定，因此介绍了一种电容式位移传感器，并对其标定方法进行了研究，提出了网格化的数据采集方式以及高阶多项式拟合的数据处理方法，搭建了传感器标定平台并开发了相应的标定控制程序，实现了对传感器的自动控制、数据采集和高精度标定过程。经过分析与对比，标定后的电容传感器达到μm级的位移测量精度，为磁铁的高精度准直提供了基础。

• 单位
  中国科学院高能物理研究所; 散裂中子源科学中心