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摘要
为了适应火工品微型化、集成化和智能化等发展趋势，薄膜微结构换能元的引发温度测试已成为一项亟需解决的关键问题。采用MEMS技术将薄膜铂电阻和薄膜微结构换能元集成在氮化硅基底上，利用原子力显微镜等设备对薄膜铂电阻的几何尺寸进行了表征，通过实验测量了薄膜微结构换能元在不同直流激励下铂电阻的阻值变化，从而得到了薄膜微结构换能元的温度响应曲线。此外，测得斯蒂芬酸铅的点火温度平均为318℃,与理论值330～350℃接近，验证了将薄膜铂电阻与薄膜微结构换能元集成于一体测量微小尺寸条件下发火温度的可行性与有效性。
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单位西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室; 陕西应用物理化学研究所
