一种降低声表面波气体传感器中半导体类敏感膜工作温度的方法

作者：高俊宁; 肖锐博; 张松琳

来源：2021-11-19, 中国, ZL202111408318.X.

本发明属于声表面波气体传感器的技术领域,公开了一种降低声表面波气体传感器中半导体类敏感膜工作温度的方法。方法：1)将压电材料与半导体敏感材料进行复合,获得复合颗粒；2)将复合颗粒在分散剂中进行分散,获得分散液；将分散液涂覆于声表面波气体传感器中传输路径上,形成敏感膜；所述敏感膜在声表面波经过时产生表面电场,该电场为半导体敏感材料提供气体反应所需能量,从而降低半导体敏感材料所形成的薄膜的工作温度。本发明的方法利用压电材料压电效应转变的电场提供半导体敏感膜与被测气体反应时所需的能量,以替代升温提供的能量,降低了半导体敏感媒介的工作温度,有利于简化器件结构、降低成本、减轻环境负担。

• 单位
  华南理工大学