大尺寸ITO靶材的制备及其密度影响因素的研究

作者：刘文杰; 钟小华; 李帅; 童培云; 朱刘

来源：材料研究与应用, 2022, 16(03): 389-392.

DOI：10.20038/j.cnki.mra.2022.000307

• ITO靶材
• 烧结
• 冷等静压
• 高密度
• 大尺寸

为制备大尺寸高密度ITO靶材，采用冷等静压及常压高温烧结的方法，制备了尺寸为1500 mm的ITO靶材，同时研究了ITO粉末的松装密度、冷等静压压力、烧结温度和保温时间等因素对靶材密度的影响。结果表明：当ITO粉末松装密度较大及粉体颗粒较小时，所制备的靶材相对密度更高；在冷等静压压力300 MPa、烧结温度1580℃、保温时间20 h的条件下，制备靶材的相对密度可达99.71%。表明上述工艺可以实现尺寸为1500 mm的大尺寸ITO靶材的制备，并且靶材相对密度较高。

• 单位
  先导薄膜材料(广东)有限公司; 先导薄膜材料（广东）有限公司