武周至开元时期(690—740年左右),四川广元千佛崖石窟造像活动兴盛。期间,千佛崖诸窟的营建大致可分为三期:第一期为690至700年代,以第535窟为代表,造像诸形式上可见650年代皇泽寺石窟的强烈影响;第二期为710年代初至720年代前半,形成了以第366、513窟为代表的两大造像系统;第三期约从720年代前中期至741年,出现了完全融合第二期两大系统形式的造像风格。这应是广元千佛崖造像体系自立性发展的结果。