氢氟酸在超光滑玻璃表面纳米颗粒清洗中的应用研究

作者：王潺; 金天义; 郝立凯; 李钱陶; 熊长新

来源：光学与光电技术, 2020, 18(01): 63-67.

DOI：10.19519/j.cnki.1672-3392.2020.01.012

• 超光滑
• 氢氟酸
• 纳米颗粒
• 粗糙度
• 清洗

为了去除超光滑玻璃表面的纳米级颗粒,利用白光干涉仪和原子力显微镜对普通湿法清洗和氢氟酸(HF)清洗后的超光滑抛光样件进行检测,研究了氢氟酸对纳米级颗粒的清洗效果。研究表明,在普通湿法清洗后,增加浓度为2%(V/V)的氢氟酸清洗10 min以上,可以有效去除超光滑玻璃表面残留的纳米级颗粒。

• 单位
  华中光电技术研究所