对最近发展的应力驱动的微结构的自组装技术进行了介绍,利用这种技术可以很方便地把许多微型器件在同一衬底上进行组装,在微光机电系统中有很广阔的应用前景.以制作GaAs微镜面为例,采用有限元分析软件ANSYS对自组装过程进行了模拟.通过模拟得到了优化的样品结构与器件尺寸,并且发现添加合适厚度的应变补偿层对获得平整的镜面非常重要.
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