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摘要
通过自主设计正极性Marx纳秒脉冲电源，在不同放电频率、不同电源电压幅值下，采用发射光谱在真空环境下对氩气放电时的电子激发温度和电子密度进行测量计算。通过双谱线法选取合适的Ar原子谱线，求得电子激发温度在1 550～3 400 K之间，在正极性脉冲电源做电压源，且电源电压一定时，电子激发温度随着电源频率的升高而呈现上升趋势，在电源频率一定时，电子激发温度也随着电源电压的增加而升高。依据Stark展宽原理对真空体积介质阻挡放电时的电子密度进行了测量计算。电子密度的数量级可达1013 m-3,当电源电压不变时，电子密度随电源频率的增加呈现上升趋势，当电源频率不变，电子密度随着电源电压的升高也逐渐提升。
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