一种高分辨力电镜放大倍率的校准方法

作者：刘剑霜; 谢锋; 胡刚; 陈一; 盛克平

来源：计量技术, 2005, (11): 28-30.

DOI：10.3969/j.issn.1000-0771.2005.11.009

• 透射电子显微镜
• 放大倍率
• 校准

针对集成电路制造中TEM检测分析的高正确度要求,本文介绍了一种高分辨力电子显微镜放大倍率的校准方法。该方法简单、方便,能够有效地减少系统误差,结果可靠,适用范围广。

• 单位
  扬州大学; 复旦大学