薄膜厚度和光学常数的主要测试方法

作者：陈燕平; 余飞鸿

来源：光学仪器, 2006, (06): 84-88.

• 薄膜厚度
• 光学常数
• 探针测量
• 光谱测量
• 椭偏测量 film thickness
• optical constants
• probe measurement
• spectroscopy measurement
• ellipsometry measurement

准确地测量和控制薄膜厚度和光学常数等参数,在薄膜制备和分析和应用都是极为重要的。对薄膜的厚度和光学常数测试方法作了归纳和分类,并对几种主要的测试方法作了简要的介绍,分析了各自的特点及存在的问题。在测量薄膜的厚度和光学常数时,必须根据待测样品和测量精度要求选择合适的方法。

• 单位
  现代光学仪器国家重点实验室