光刻物镜高精度挠性结构镜框设计及分析

作者：华洋洋; 巩岩

来源：光电工程, 2013, (07): 39-43.

• 光学器件
• 光刻投影物镜
• 支撑结构
• 结构优化
• 有限元 optics device
• lithography objective
• supporting structure
• structure optimization
• finite element

光刻投影物镜的透镜支撑形式决定透镜的面形精度,进而影响光学系统的成像质量。本设计为实现透镜面形精度优于5nm的RMS值,提出一种三点挠性主支撑和六点弹片辅助支撑的支撑形式。综合考虑透镜自重、夹持力和热载荷对透镜面形影响,对支撑结构进行优化设计,并进行了仿真分析。仿真后的面形结果为:上表面面形PV21.7nm,RMS4.49nm;下表面面形PV81.3nm,RMS3.63nm。仿真结果显示:该种透镜的支撑结构可以满足光刻投影物镜的高精度面形指标要求。

• 单位
  中国科学院长春光学精密机械与物理研究所; 应用光学国家重点实验室