图像对准系统中提高精度的软件补偿技术

作者：王权岱; 肖继明; 李鹏阳

来源：光电工程, 2011, (09): 40-45.

• 对准系统
• 误差
• 软件补偿
• 功能集成 alignment system
• error
• software compensation
• functions integration

本文根据分层制造对准系统的精度要求,研究了改善精度的软件补偿措施:设计了SUSAN和多帧平均降噪结合的无损滤波算法以减小滤波过程对标记图像产生的畸变;以频域能量谱函数作为系统的聚焦测度函数实现自动聚焦,消减了由离焦引入的对准误差;以校正残差均方差的大小和稳定性为依据确定了三次多项式畸变模型,校正后畸变引入标记定位误差小于0.25μm;通过对摆动轨迹的拟合和误差补偿使系统机械不稳定性造成的对准精度损失小于1.3μm。通过Delphi和Matlab混合编程完成了上述功能的软件实现和集成。

• 单位
  西安理工大学; 西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室