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摘要
利用中心对称标记的中心旋转不变特性,提出了一种基于自归一化积相关(SNCC)的模板匹配方法。该方法对由于TFT制程工艺导致的非线性缩放变形以及标记离焦情形,具有较强的工艺适应性。通过对TFT工艺变形的对准标记以及离焦的对准标记对比测试,验证了在此工况条件下,基于SNCC方法的测量结果相对NCC及几何模版匹配算法具有更高的可信度,可以满足中心对称标记亚像素级的精确定位及测量需求。相对于传统标记中心定位方法,在对准标记产生工艺形变或对准离焦时,研究方法依旧可以获取高的可信度测量结果。
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单位自动化学院; 上海大学
