钛酸锶钡铁电薄膜的制备与性能优化研究

作者：王波; 杨传仁; 陈宏伟; 张继华; 余桉; 张瑞婷

来源：绝缘材料, 2007, (04): 24-28.

DOI：10.16790/j.cnki.1009-9239.im.2007.04.007

• 钛酸锶钡(BST)
• 铁电薄膜
• 制备工艺
• 性能优化 barium strontium titanate(BST)
• ferroelectric thin film
• preparation technologies
• properties optimization

综述了目前钛酸锶钡(BST)铁电薄膜最为常用的4种制备工艺:磁控溅射法(Magnetron Sputtering)、脉冲激光沉积法(PLD)、溶胶-凝胶法(Sol-gel)、金属有机物化学气相沉积法(MOCVD)。并介绍了在优化BST铁电薄膜性能方面所作的工作和取得的成果。

• 单位
  电子薄膜与集成器件国家重点实验室; 电子科技大学