三氧化二铁六角晶体的制备及其气敏性应用

作者：刘保强; 孙璐璐; 建方方^*

来源：青岛科技大学学报(自然科学版), 2019, 40(01): 44-47.

DOI：10.16351/j.1672-6987.2019.01.007

• 化学气相沉积
• 三氧化二铁
• 场效应晶体管
• 一氧化碳

通过化学气相沉积法(CVD)制备了三氧化二铁(α-Fe2O3)六角晶体,后对制得的α-Fe2O3进行了系列表征,对反应机理进行了分析。同时构建了场效应晶体管(FET)考察了材料电学性能,并测试了器件对一氧化碳(CO)的气敏性能。实验表明:以三氯化铁(FeCl3)和水蒸汽(H2O)为原料通过CVD方法能够在相对温和的条件下制备准二维α-Fe2O3六角晶体;用制得的材料构建场效应晶体管具有良好的电学性能,并对CO气体具有很好的响应。

• 单位
  青岛科技大学