高温ITO薄膜应变计制备及压阻性能

作者：杨伸勇; 张丛春^*; 杨卓青; 李红芳; 姚锦元; 黄漫国; 汪红; 丁桂甫

来源：材料工程, 2020, 48(04): 145-150.

• ITO薄膜应变计
• 热处理
• 高温应变测量
• 电阻温度系数

高温薄膜应变计被广泛应用于极端条件热端构件的应变测量。ITO薄膜应变计通常能够应用于1000℃以上的应变测量,为了研究ITO薄膜的显微结构、XPS光谱、阻温特性及压阻响应,采用磁控溅射在陶瓷基底上制备了ITO薄膜应变计,并在高温纯N2中热处理ITO薄膜。结果表明,其电阻温度系数稳定在-750×10-6℃-1,在1200℃下测试其应变特性,测得电阻漂移率为0.0018 h-1,应变因子为16。ITO薄膜在高温下具有稳定的电阻温度系数和低漂移率,为高温端部件应变的测量提供了可能。

• 单位
  中国航空工业集团公司; 微米/纳米加工技术国家级重点实验室; 上海交通大学