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摘要
本发明公开了一种涡旋光与平面波干涉的精密角位移测量方法,基于马赫泽德干涉结构搭建光学干涉系统,当待测平面镜和参考平面镜的相对位置不再平行时,由其反射回来的两个光束再次相遇时会发生离轴干涉,产生中间具有分叉结构,周围区域等间距分布的条形干涉图样。此时待测平面镜产生微小角位移时,两束反射光之间的光程差发生变化,干涉图样也会发生相应的变化,该干涉图样包含了待测平面镜倾斜角变化的大小及方向等相关信息。使用CCD相机分别采集平面镜处于不同位置处的干涉图样,通过对干涉图样做进一步的图像处理和计算,可以得到条纹间距和干涉条纹的倾斜角度,进而得到待测平面镜角度变化的大小和方向。
- 单位
