透明导电薄膜(Ⅱ):多元透明导电氧化物薄膜

作者：闫彩波; 周艳文^*; 王鼎; 杨东明

来源：辽宁科技大学学报, 2021, 44(03): 161-170.

DOI：10.13988/j.ustl.2021.03.001

• TCO薄膜
• 多元组份
• 结构
• 禁带宽度
• 光电性能

透明导电薄膜具有可见光区透光及一定的导电性,包括金属基、氧化物基及其他化合物基透明导电薄膜等。以多元氧化物基透明导电氧化物(TCO)薄膜为对象,综述其组份、组织、相结构、禁带宽度、光电性能等方面的研究进展,并对多元和掺杂TCO薄膜的光电性能进行比较。

• 单位
  辽宁科技大学