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摘要
本文采用自制的微弧氧化装置，选用合适的电解液及上艺参数，在Ti基体上直接沉积钛酸盐系铁电薄膜。利用X射线(XRD)、扫描电镜(SEM)对薄膜的棚组成、形貌进行了分析。结果表明，在Pb(CH3COOH)2溶液中无法沉积出PbTiO3，在Ba(CH3COOH)2溶液中成功沉积出BaTiO3。微弧氧化法制备钛酸盐系铁电薄膜的侧重点应在两方面：一是选用合适的溶液，溶液中含有活泼金属如Sr、Bi、La等离子，以掺杂或取代Ba，生成其它种类的钛酸盐系铁电薄膜，二是研究工艺参数，特别是电流模式对表面形貌的影响，以改善表面平整度。
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