一种单频激光干涉仪非线性误差修正方法研究

作者：金涛; 唐一揆; 乐燕芬; 刘芳芳; 雷李华

来源：计量学报, 2020, 41(06): 676-681.

• 计量学
• 差分平面镜干涉仪
• Heydemann修正
• 非线性误差

针对单频激光干涉仪在位移测量中存在的非线性误差问题,研究了一种基于几何距离最小化的Heydemann修正算法,使用Jamin干涉仪和纳米位移台搭建了验证性实验。Jamin干涉仪是一种基于平面镜的差分结构单频干涉仪,当被测物体移动时,干涉仪输出两路相位差为90°的正交信号,这两路信号既用于Jamin干涉仪解算位移也用于验证论文的修正算法。实验结果表明,修正后的位移的拟合优度与Jamin干涉仪解算结果接近,决定系数约为1。相比Jamin干涉仪,在压电陶瓷同等驱动条件下,修正位移与电容传感器的位移的残差均较小,修正精度均高于Jamin干涉仪解算结果。

• 单位
  上海理工大学; 上海市计量测试技术研究院