一种化学气相沉积速率预测方法

作者：关康; 卢振亚; 吴建青; 曾庆丰; 冯志强; 刘建涛; 高勇; 龚振远

来源：2019-08-14, 中国, ZL201910749267.3.

本发明公开了一种化学气相沉积速率预测方法,具体涉及化学工艺研究领域,具体预测方法如下：建立有限元反应器模型；建立能量守恒方程；建立质量守恒和动量守恒方程；建立多组分扩散方程；建立气相反应模型；极限学习机模型和粘附系数法确定主要中间物质；建立表面反应模型；沉积速率预测模型建立粘度系数和表面浓度、沉积速率的相关性；建立中间物质粘度系数与其影响因素之间的多因变量的PLSR模型；根据实验结果确定粘附系数。本发明结合机器学习和计算流体力学的模拟技术,将大大降低模型参数对人为经验的依赖,通过少量实验即可准确确定重要中间相和粘滞系数,达到预测结果准确性高、可靠性强的技术效果。

• 单位
  华南理工大学