一种小型微波等离子炬装置

作者：温卓宾; 曾葆青; 吴喆; 彭志伟

来源：真空电子技术, 2015, (5): 63-66.

DOI：10.3969/j.issn.1002-8935.2015.05.015

• 同轴谐振腔
• 微波谐振炬点火器
• 微波等离子体

简要介绍了微波等离子体以及微波谐振炬点火器的应用研究情况.基于四分之一波长同轴谐振腔基本理论,采用电磁仿真软件HFSS设计出的一种微波等离子炬装置,在输入功率为5W,腔体内电场可达到30 kV/em(标准气压下空气被击穿的电场强度),从而产生微波等离子体.

• 单位
  电子科技大学