摘要

电喷雾推力器采用多孔玻璃微锥阵列作为发射极,具有高比冲、结构简单、耐电蚀的优势。多孔玻璃微锥阵列不导电、脆性高,超快激光是潜在的有效加工途径。采用脉宽8ps的超快激光器,结合高速相机原位观测,研究G5级多孔玻璃的超快激光作用材料去除行为。研究结果表明:超快激光作用下,多孔玻璃材料具有剥离去除特性,加工过程中有大量粒径几十微米的颗粒飞溅,材料去除效率约为K9玻璃的16.2倍;分析了扫描策略和加工余量对多孔玻璃微锥阵列形貌特征的影响,实现高一致性和大锥顶锐度微锥阵列加工,平均锥顶尺寸达到20μm。组装后的电喷雾推力器能够在3kV电压下获得单个发射极90μN的推力。