蔡司GeminiSEM 300型场发射扫描电镜常见故障的预防、排除和磁性样品的测试方法

作者：陈佳阳; 陈耀文

来源：电子显微学报, 2020, 39(04): 423-425.

• 扫描电镜
• 故障排除
• 预防措施
• 磁性样品

扫描电镜故障的预防和及时排除对于延长扫描电镜的使用寿命,节约维修成本有着重要的意义。本文详细总结了蔡司GeminiSEM 300型场发射扫描电子显微镜(field emission scanning electron microscope,FESEM)可能发生的一些故障,以及故障发生的原因、排除方法和预防措施,并介绍了测试磁性样品时的工作条件,希望对同行有参考的作用。

• 单位
  中心实验室; 汕头大学