532nm激光辐照下ZnSe薄膜光学特性研究

作者：王建; 徐均琪; 李候俊; 李绵; 苏俊宏

来源：应用光学, 2018, 39(06): 929-935.

• 硒化锌
• 预处理
• 透射率
• 折射率
• 消光系数
• 损伤阈值

采用电子束热蒸发技术制备了ZnSe薄膜,研究了532nm波长的不同能量(2.0mJ、2.5mJ、3.0mJ)、不同脉冲数(3、10、15)激光诱导前后,ZnSe薄膜的透射率、折射率、消光系数、损伤阈值(LIDT)的变迁。研究结果显示,在能量为2.0mJ激光辐照后,ZnSe薄膜折射率提高,透射率下降。相比较能量为2.5mJ、3.0mJ激光辐照,在能量为2.0mJ激光辐照后折射率提高最明显,由2.489 4提高到2.501 6。薄膜损伤阈值从0.99J/cm2提高到1.39J/cm2(10脉冲辐照);薄膜的损伤经过了无损伤到严重损伤突变的损伤演变过程。采用原子力显微镜对预处理后薄膜表面粗糙度进行检测,发现激光预处理后的薄膜表面粗糙度Ra有所下降,从0.563nm降低到0.490nm(15脉冲激光辐照)。

• 单位
  西安工业大学