阐述椭圆体气囊抛光头的运动方式和局限性,分析不同孔径圆孔光学元件的加工范围,设计一种可伸缩式圆孔气囊抛光头的机械结构,通过滑动模块实现抛光头直径大小的调整,以适应不同孔径光学元件的抛光。利用可伸缩式气囊抛光头进行不同孔径圆孔光学元件的工艺试验,探讨抛光中表面粗糙度的变化规律及原因,采用5 kPa、4 kPa和3 kPa等不同气囊压强进行分阶段抛光试验。试验结果表明:该抛光头可满足不同孔径光学元件的高精度加工要求。