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摘要
本发明公开了一种基于视场分离的X-Y-θ三自由度测量方法,包括以下步骤：将二维绝对位置编码盘固定在二维位移台上,二维绝对位置编码盘随二维位移台进行X、Y方向和阿贝角θ方向上的移动；远心镜头内的同轴光经过视场分离装置垂直照射在二维绝对位置编码盘上,形成两个间隔一定距离的独立光学视场,CCD相机获取两个视场内的编码图像并通过数据线传输到图像处理系统；图像处理系统对接收到的编码图像进行模块化处理,得到精确的二维绝对位置值X、Y和阿贝角θ。本发明在现有技术的基础上,对编码成像系统进行改进,通过增加视场分离装置,分离相机视场,能够避免单视场大小对阿贝角测量精度的限制,从而获取更为精确的阿贝角。
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