“日盲”紫外微通道板型光电倍增管研究

作者：司曙光; 金睦淳; 王兴超; 黄国瑞; 金真; 徐海洋; 吴凯; 王宁; 黄之遥; 孙建宁; 任玲; 李珅; 石梦瑶; 张昊达; 曹宜起; 侯巍; 顾莹; 赵敏; 叶皓; 汤偲晨

来源：红外技术, 2020, 42(08): 722-728.

• 紫外
• 光电倍增管
• 光电阴极
• 微通道板
• 铟封

"日盲"紫外光电倍增管是紫外光通信和核辐射探测的关键器件,具有高辐射灵敏度、高增益、高分辨率、低噪声等特点。因此,紫外光电倍增管一直是国内外真空器件的重要研究领域。本文从结构设计、阴极制备、微通道板和整管封接4方面介绍了北方夜视研制的"日盲"紫外光电倍增管。采用的是MgF2光窗上蒸镀有效面积为φ18 mm的Cs2Te光电阴极,通过增透技术使得250 nm处的辐射灵敏度从22 m A/W提高到26.5 m A/W;利用电子光学仿真得到信号上升时间小于500 ps,TTS优于0.1 ns的结构;采用结构优化和原子沉积技术使得微通道板增益达到5×106;采用玻璃/Cr/Cu/Ag多层金属薄膜热铟封接技术,可将整管铟封合格率提升至97%。

• 单位
  微光夜视技术重点实验室; 北方夜视技术股份有限公司南京分公司