当图形尺寸远大于衍射极限时，由电磁波的波粒二象性可认为电磁波是沿直线传播的。忽略衍射的效应，统计学要求多次测量以满足可靠度的要求。基于中心极限定理，满足概率要求，设计了梳状对版检查结构。通过试验得出，当齿数增大时，光刻机的成像亮度会增大，也有益于提高空间像的对比度。对比不同占空比周期梳状结构的光强分布，发现占空比为50%的对版图形有益于提高空间像的对比度，且实际光刻操作过程中，不会对掩模的对准操作产生影响，能够满足工艺要求。
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