具有表面超结的横向绝缘栅双极晶体管研究

作者：周淼; 倪晓东; 何逸涛; 陈辰; 周锌^*

来源：微电子学, 2022, 52(03): 454-458.

DOI：10.13911/j.cnki.1004-3365.220092

• 横向绝缘栅双极型晶体管
• 表面超结
• 终端设计
• 耐压
• 比导通电阻

提出了一种基于体硅的表面超结横向绝缘栅双极晶体管(SSJ LIGBT)。分析了工艺参数注入剂量和注入能量对器件性能的影响，基于耐压需求的考虑，设计并优化了SSJ LIGBT器件及其终端。对该SSJ LIGBT进行了击穿特性、输出特性和转移特性的测试。测试结果表明，该SSJ LIGBT的耐压达到693 V,比导通电阻仅为6.45Ω·mm2。

• 单位
  电子科技大学; 电子科技大学广东电子信息工程研究院