摘要

本发明公开了一种能量密度可调整的多工作模式等离子体电源。所述电源包括主电路和控制电路;主电路包括依次连接的整流滤波模块、全桥逆变模块、原边谐振电感模块以及中频变压器模块;所述控制电路包括DSP控制器模块、信号检测模块。本发明能够提高等离子体电源的提高驱动能力、增强等离子体电源对多种等离子体发生器的适应性、提高电源效率、改善电源的动态特性及降低软硬件成本。