室温下纳米多孔氧化铝湿度传感器的研究

作者：张会锐; 张辉; 杨青; 张年生; 杨德仁

来源：浙江大学学报(工学版), 2004, (04): 33-37.

• 多孔氧化铝
• 复阻抗
• 相对湿度 porous alumina
• complex impedance
• relative humidity

研究了纳米级多孔氧化铝为敏感膜的湿度传感器的制备、性能和感湿机理.用阳极氧化法制得纳米多孔氧化铝,用LCR测量仪研究了该传感器的电容和阻抗随湿度变化的特性,结果发现其电容特性和阻抗特性在33%～97%相对湿度(RH)范围内线性度很好.并用等效电路模型对传感器的复阻抗特性进行了分析,讨论了传感器的感湿机理.结果表明,在低湿下该传感器等效于一个R、C并联电路,以电子导电为主;在高湿下等效于两个R、C并联电路的串联,以离子导电为主.

• 单位
  硅材料国家重点实验室